在微电子行业中，为了准确控制各类制造、检测类设备的温度，液冷技术发挥着至关重要的作用。例如，在半导体晶圆制造过程中，晶圆夹具须配备液冷系统，用以带走由高能离子轰击时产生的热量，并控制晶圆温度。否则，晶圆就有可能因温度太高而造成光刻胶的网状组织化。

由此可见，液冷系统不仅关乎设备的安 全运行和使用寿命，还关乎zui终产品的良率与性能。在整个液冷系统的组件中，选用合适的管路及接头非常关键。作为流体传动行业“无泄漏”的先行者，Parker派克汉尼汾可为微电子行业的液冷系统提供多种高品质流体连接解决方案，满足不同设备的冷que需求。

NSS 快换接头

采用平齐端面阀芯，断开无溢流；大流量通流能力，提供优异的流量-压降特性，冷que性能稳定、能耗低；采用对齐导向即插连接和套筒反推断开设计，操作方便、不会意外断开；不锈钢材质，多种密封材质和油口选项可选。

O-LOK 不锈钢接头

采用端面 O 形圈软密封，该密封圈嵌在Parker派克特you的O形圈锲形槽内，密封性能更加稳定可靠。这不仅进一步提升装配安 全性，还能更好实现无泄漏连接，优化安装和维护成本。由于连接及密封性能高度可靠，它能进一步减少微电子行业冷que系统管路的重复安装，降低维护成本。

PTFE 软管

PTFE系列软管中的979BXT、929Bj、919B和 NCW/NCB 软管可用于液冷管路，采用PTFE芯管，是因为其具有良好的介质兼容性；灵活 性好；抗扭结和耐真空；无RFI问题。

801软管

801软管是针对冷que应用而设计研发的多用途软管产品，可与多种水基冷que介质兼容；与旗下的82系列Push-Lok接头匹配，无需扣压和抱箍、易于安装，节省安装时间和成本；6种颜色可选，便于识别；801软管采用本地化生产，交期快，供应安 全。

目前，Parker派克汉尼汾旗下的高品质流体连接解决方案已在微电子行业得到成功应用，性能表现深受客户认可。

01

国內某半导体薄膜设备厂商为其洁净室的去离子水冷que系统选用NSS快换接头，与位于室外的循环过滤系统建立快速连接。

在这个应用中，由于冷que系统位于洁净室，快换接头在实现快速连接的同时，还要符合洁净室生产要求。NSS快换接头材质与去离子水兼容，耐腐蚀。

接头断开时端面基本无介质残留，可减少污染物产生，符合洁净室生产要求；

连接夹气量少，能降低冷que系统的气泡；

插拔便捷，作业效率高。

此外，还可进一步优化冷que管路压降，提升系统能效。

02

在与另一家国迹有名的半导体设备生产商的合作中，Parker派克汉尼汾携手国內分销伙伴，为该行业客户用于信号发射和芯片传输检测设备的水冷系统提供管路系统解决方案。

凭借更为可靠的密封性能，O-LOK不锈钢接头为该系统提供无泄漏连接。同时，在分销伙伴的大力支持下，产品交期准时有保障，满足客户货期要求，解除客户后顾之忧。

此外，Parker派克汉尼汾还可提供Legris 接头和气管、Rectus不锈钢快换接头和PS系列旋转接头等产品供客户选择。