派克Parker高品质减压阀—助力微电子制造

集成电路制造的过程离不开各类不同纯度、不同压力、性质各异的气体参与。人们通过各种各样的减压阀来控制这些气体压力，如果说这些减压阀是气体控制零件中的皇冠的话，那么派克汉尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高纯减压阀就是这个皇冠上的明珠。

SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀从诞生至今，始终致力于立足行业应用的前沿领域。

SQ2MICRO系列

SMSQ2MICRO系列

-它针对超高纯应用而设计，强大的性能和规格使其非常适用于关键的半导体制造设备。

-MFC是影响集成电路制造的可重复性及良率的重要组件，SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀能提供非常准确和可靠的压力控制，让MFC(质量流量计)的表现更加出色。

-除此之外，它还在气密完整性和颗粒物生成方面表现出色，这些对于减少半导体制程的污染至关重要。

那么，为什么SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀有如此好的表现呢？答案藏在细节之中：